신성이엔지, 반도체 대전서 클린룸 장비 선봬

[이데일리 함지현 기자] 신성이엔지(011930)는 오는 27일까지 서울 삼성동 코엑스에서 열리는 ‘제25회 반도체 대전(SEDEX2023)’에 참가한다고 26일 밝혔다.

(사진=신성이엔지)

신성이엔지에 따르면 1977년 설립 이후 반도체 클린룸 분야를 선도해온 신성이엔지는, 지난 1991년 국내 최초로 클린룸 주요 장비인 FFU(Fan Filter Unit)를 국산화했다. 클린룸은 반도체·디스플레이 등이 제조되는 고청정 공간을 말한다.

산업용 공기청정기인 FFU는 최첨단 공기 제어 기술을 통해 초미세먼지까지 효율적으로 제어, 제품 품질과 수율(완성품 중 양품 비율)을 높이는 설비다. 현재 신성이엔지는 해당 분야에서 전세계 점유율 60% 이상을 차지한다.

이번 전시회에서는 FFU 외에도 △기류 연동 시스템 △휘발성 유기화합물 제거 장비(V-master) △핸디형 미립자 가시화 시스템 등이 소개된다. 두 공기 제어 기술을 바탕으로 개발, FAB 내 고청정 공간을 조성하기 위한 장비들이다.

신성이엔지 클린환경(CE)사업을 담당하고 있는 이영일 부사장은 “전시회를 통해 반도체 클린룸과 더불어 이차전지 드라이룸 제습 장비 및 기술을 소개할 수 있어 기쁘다”며 “지속적인 연구개발을 통해 첨단사업에서 제품 생산에 필요한 최적의 환경을 만들고, 관련 산업 성장을 이끌 수 있도록 하겠다”고 말했다.