반도체 필터 국산화…시노펙스, 산업부 장관상

[이데일리 강경래 기자] 시노펙스(025320)가 우리나라 반도체산업 발전에 기여한 공로로 산업부 장관상을 받았다고 30일 밝혔다.

시노펙스는 지난 29일 한국반도체산업협회가 주최한 ‘제13회 반도체의 날’ 기념 행사에서 산업통상자원부 장관 표창을 수상했다. 시노펙스는 그동안 수입에 의존해온 반도체 연마(CMP, Chemical Mechanical Polishing) 공정 필터를 국산화한 후 관련 다양한 필터 제품들을 업계에 공급했다. 이를 통해 우리나라 반도체산업 발전에 기여한 공로를 인정받았다. 시노펙스 멤브레인필터사업부 신사업팀을 이끄는 이하나 팀장이 대표로 수상했다.

시노펙스는 지난 2010년 반도체 공정에 쓰이는 ‘POU’필터 국산화 이후 국내와 함께 대만 등 반도체 업체들에 관련 필터를 공급해왔다. POU필터는 반도체 웨이퍼(원판) 연마에 필요한 슬러리 용액을 여과하는데 사용한다. POU필터로 걸러진 미세 슬러리 입자가 웨이퍼 표면을 가공하기 때문에 반도체 품질과도 직결된다.

시노펙스를 대표해 장관상 수상에 나선 이하나 팀장은 수입산 위주였던 연마용 POU필터를 비롯해 카트리지 필터 등 연마 공정에 쓰이는 다양한 필터 개발에 참여해왔다. 특히 기존 필터들이 ‘PP’(Polypropylene) 소재로 제조한 것에서 벗어나 ‘글라스피버’(Glass Fiber)를 적용했다. 이를 통해 매일 필터를 교체하지 않고 사흘에 한번 교체할 수 있어 반도체 공정 효율을 향상시켰다.

이하나 팀장은 2002년 시노펙스 전신인 유원텔레콤에 입사해 지금까지 19년째 재직 중이다. 생산 현장 경험을 토대로 멤브레인필터사업부와 IT(정보기술)부품사업부 생산과 영업 현장 등 전 사업 부문을 두루 경험해왔다. 특히 최근 출시한 ‘시노텍스 멤브레인필터 마스크’를 생산해 공급하는 자회사 에스엘바이오필터텍 대표로 발탁됐다.

한편, 시노펙스는 최근 인공혈관에도 사용하는 안전한 소재인 ‘e-PTFE’(폴리테트라 플루오로에틸렌)를 활용한 마스크필터 원단 ‘시노텍스’(SYNO-TEX)를 적용해 ‘시노텍스 멤브레인필터 마스크’를 출시했다.