인베니아, 건식식각장비 안테나 특허기술 확보

[이데일리 강경래 기자] 인베니아(079950)가 ‘유도 결합 플라즈마 처리장치용 안테나 조립체 및 이를 갖는 유도 결합 플라즈마 처리장치’ 특허를 취득했다고 25일 밝혔다.

이번 특허는 디스플레이 공정에 쓰이는 건식식각장비(드라이에처) 상하부 사이에 브릿지 안테나를 배치, 장비 내부 절연창 및 프레임바 등 필수 구성물과 안테나 간 간섭을 줄이는 한편, 연결 안테나 높이를 조절할 수 있는 기술이다.

이는 공정공간 안에서 형성되는 플라즈마 균일도와 장비 내구성을 향상시키는 효과와 함께 플라즈마 밀도의 정밀한 조절도 가능하게 한다. 현재 인베니아가 개발 중인 차세대 대면적 OLED(유기발광다이오드) 및 LCD(액정표시장치) 공정용 건식식각장비에 적용될 예정이다.

건식식각장비는 박막트랜지스터(TFT) 기판 위에 불필요한 부분을 플라즈마를 이용해 정밀하게 깎아내는 기능을 한다. LCD에 비해 OLED는 더 높은 플라즈마 밀도와 성능이 요구된다.

인베니아는 LG디스플레이를 비롯해 BOE와 CSOT, HKC 등 중국 디스플레이 업체들에 디스플레이 공정용 건식식각장비를 공급한다. 나아가 전 세계적으로 대면적 OLED 생산 투자가 증가하는데 따라 차세대 장비 개발에 역량을 집중, 건식식각장비를 비롯해 진공물류장비, 봉지장비(인캡슐레이션) 등 관련 장비 시장을 선점할 계획이다.

인베니아 관계자는 “핵심 장치인 안테나를 자체 개발해 식각 속도가 빠르고 균일성이 뛰어난 차세대 유도결합형플라즈마(ICP: Inductive Coupled Plasma) 방식 건식식각장비 기술 경쟁력을 확보했다”고 말했다.