단국대, 반도체 공정 핵심기술 1억원에 기술이전

왼쪽부터 박재형, 이승기 교수(사진=단국대)

[이데일리 신하영 기자] 단국대가 반도체 공정에 필요한 핵심기술을 기업에 이전했다고 29일 밝혔다. 기술이전은 대학이 보유한 원천기술의 사업화를 위해 이를 기업에 이전하는 것이다.

단국대는 차세대 센서 전문기업인 엠엔텍과 1억원 규모의 기술이전 계약을 체결했다.

해당 기술은 박재형·이승기 전자전기공학부 교수가 개발한 기술로 국내·미국 특허를 등록한 기술이다. 박 교수에 따르면 이는 반도체 소자의 제작·패키징에 적용 가능한 기술이다. 반도체 소자가 제작되는 실리콘 기판 위를 식각, 미세구조 패턴을 만들어 유리 기판을 접합하는 기술로 다층·복합 구조를 갖는 반도체 소자 제작에 활용할 수 있다.

정승환 엠엔텍 부사장은 “단국대로부터 기술을 이전 받아 글라스 재흘림(리플로우) 공정을 통한 기판 관통 구조물을 개발해 반도체 시장에서 원천기술을 확보할 계획”이라고 말했다.

김수복 단국대 총장은 “국가전략산업인 반도체를 포함, 다양한 미래산업 분야에서 산학협력이 활성화되고 기술이전이 상시화될 수 있도록 노력하겠다“고 말했다. 단국대는 이번 계약을 포함, 올해 총 24억 원의 기술이전 수입을 달성했다.