HB솔루션, '나노 마이스' 장비로 반도체 계측 장비 시장 진출

[이데일리 이용성 기자] 디스플레이 검사장비 기업 HB솔루션(297890)은 ‘나노 마이스(Nano-MEIS ; Medium Energy Ion Scattering)’장비를 통해 반도체 계측장비 시장 진출을 본격 추진한다고 7일 밝혔다.

(사진=HB솔루션)

나노마이스는 중에너지 이온을 이용하여 반도체 제조 공정의 산화막 등 박막 조성 및 두께를 비파괴적으로 분석할 수 있는 장비다. 산화막의 조성 및 두께뿐만 아니라 나노박막, 양자점, 3차원 나노 소재 등을 원자층 분해능으로 분석할 수 있다.

회사 측은 나노마이스 장비가 적용되는 반도체 초정밀 물성 계측분야는 반도체 공정기술 난이도 증가로 수요처가 빠르게 확대되고 있고, 물성계측이 필요한 다른 공정으로의 확대도 용이해 시장확장성도 매우 크기 때문에 반도체 공정 라인 진입에 성공할 시 매출성장과 이익개선을 기대하고 있다.

현재 나노마이스 장비는 국내 메모리 회사에서 성능평가를 진행 중이며 상당한 진척을 거두고 있다는 것이 회사 측 설명이다. 국내 최대 반도체 회사 또한 해당 장비에 적극적인 관심을 보이고 있고 빠른 시일 내에 성능평가에 돌입할 예정이다.

향후 HB솔루션은 디스플레이 계측장비 경험과 국내 반도체 제조업체와의 국책과제 수행이력을 기반으로 사업 및 매출처 다각화에 박차를 가할 계획이다.

HB솔루션 이재원 대표이사는 “반도체 물질의 성분에 대한 절대 정량 분석 및 두께를 정밀하게 측정하는 것은 반도체 소자의 신뢰성 개선과 수율관리의 핵심”이라며 “HB솔루션의 나노마이스 장비는 나노미터 단위보다 더욱 정밀한 초나노미터인 옹스트롱(Angstrom) 단위까지 표면분석 및 두께 분석이 가능하고 메모리, 비메모리에 모두 적용이 가능해 시간이 지날수록 중요성은 더욱 커질 것”이라고 강조했다.

이어 “국내 반도체 업체뿐 아니라 세계최대 해외 파운드리 업체와도 시료테스트를 진행하고 있으며, 관련된 현지특허도 마무리되어 가는 등 진행 속도도 빨라 내년 반도체 설비투자 확장시기에 맞춰 장비 반입을 목표로 대응 중”이라고 덧붙였다.