28일 삼성전자와 소방당국에 따르면 전날 오후 1시30분경 화성사업장 11라인 외부에 있는 ‘화학물질중앙 공급시설’에서 불화수소희석액 공급 장치에 이상이 발생한 것으로 파악됐다. 관리 운영사인 STI서비스사는 이날 오후 11시부터 수리를 시작해 다음날 새벽 4시46분경에 수리를 완료했다.
수리 작업에 참가한 STI서비스사 소속 박모씨는 이날 아침 7시30분경 목과 가슴의 통증을 호소, 병원 이송했으나 사망했다. 삼성전자는 함께 작업했던 4명의 직원들은 병원에 이송, 치료 후 완쾌해 퇴원했다고 밝혔다.
삼성전자측은 28일 오후 3시경 불산 유출 사고를 경기도청에 신고했다.
불산은 반도체를 제조할 때 생기는 불순물을 제거하는 물질로 인체에 치명적이다. 지난해 9월 경북 구미와 올해 1월 충북 충주에서도 불산가스가 누출돼 큰 피해로 이어졌다.
화성소방서 관계자는 “사고가 27일 발생해 삼성전자측에서 자체 진화 후 28일 오후 신고해 왔다”며 “현재 상황 조사 중이어서 구체적인 피해 상황은 확인되지 않고 있다”고 말했다.