반도체용 초순수 생산기술 국산화 돌입…생산설비 착공

사진=환경부 제공

[이데일리 김경은 기자] 반도체용 초순수 생산기술 국산화의 첫 단계인 실증플랜트가 착공된다.

환경부는 한국수자원공사 및 한국환경산업기술원과 함께 16일 오후 에스케이(SK)실트론 생산공장(경북 구미 소재)에서 고순도 공업용수 실증플랜트 착공식을 개최했다.

총 480억원 규모의 예산 중 국고가 300억원이 투입되는 이번 프로젝트는 2025년까지 △초저농도 유기물 제거용 자외선 산화장치 △ 초저농도 용존산소 제거용 탈기막 △고순도 공업용수 설계-시공-운영 통합 기술 등 고순도 공업용수 전반에 걸친 국산화 연구를 수행한다.

이번 실증플랜트는 초순수 생산기술을 신속하게 개발하고 성능을 확인할 수 있도록 반도체 소재 생산기업인 에스케이실트론 공장 내에 설치해 해외기술과 국내기술을 직접 비교하고 실제 초순수를 공급해 관련 기술의 실적을 확보한다는 의미가 있다.

한국수자원공사와 연구개발 참여기업은 2025년까지 하루 2400t의 초순수를 생산하는 실증플랜트를 설치·운영해 관련 생산공정의 설계·운영 기술 100%, 시공 기술 및 핵심기자재 60% 국산화를 목표로 하고 있다.

초순수(Ultra Pure Water)는 초미세회로(nano meter, 10-9m)로 구성된 반도체 표면에서 각종 부산물, 오염물 등을 세척하는데 사용되는 필수 공업용수다.

초순수 내에 불순물이 거의 없는 상태(유기물 0.01ppm 이하)를 유지해야 하는 최고 난이도의 수처리 기술이 필요하며 전 세계적으로 일부 선진국만이 초순수 생산기술을 보유하고 있다.

그간 우리나라 반도체 기업에서는 반도체용 초순수의 생산과 공급을 일본, 프랑스 등 해외기술에 의존하고 있어 수출규제 등 외부환경에 매우 취약한 상황이다.

글로벌 워터 인텔리전스에 따르면 반도체 외에 전자, 의약, 철강 등 주요 산업에서 사용되는 고순도공업용수 분야의 세계 시장 규모는 2024년 23조원 규모로 성장할 것으로 추정된다.

이 중 반도체용 초순수 시장은 전세계 약 4조4000억원, 국내 1조4000억원으로 추산된다.

한편 지난 5월, 정부는 2030년까지 510조 이상의 투자를 통해 반도체 제조 기술의 초격차를 이어가 종합반도체 강국으로 도약하기 위한 ‘한국형(K) 반도체 전략’을 발표한 바 있다.

환경부는 “이 전략의 하나로 반도체의 품질과 직결되는 공업용수이자 핵심소재인 반도체용 초순수 생산기술의 국산화를 추진하고 있어, 일본기업이 주도하고 있는 초순수 시장에 국내기업이 진출하는 발판이 마련될 것으로 기대된다”고 말했다.