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23개 품목에는 섬세한 회로 패턴을 기판에 기록하는 극자외선(EUV) 관련 장비, 세정·검사에 사용하는 장치 등 23개다. 닛케이는 10~14나노(nm·10억분의 1m)급 공정 이하 최첨단 제품에 필요한 소재·부품·장비들이 포함됐다고 전했다.
23개 품목은 미국, 한국, 대만 등 42개 우방 국가·지역을 제외하면 수출할 때 마다 개별허가가 필요하다. 23개 품목에 대한 중국 수출의 경우 일일이 경산성의 수출 허가가 필요하기 때문에 사실상 수출이 어려워졌다고 볼 수 있다.
이번 수출 규제 확대로 일본 도쿄 일렉트론, 스크린홀딩스, 니콘 등 10개 기업이 영향을 받을 것이라고 닛케이는 전했다. 니시무라 경제산업상은 “(기업실적 타격은) 전체로서는 영향이 제한적이다”고 언급했다.
니시무라 야스토시 일본 경제산업상은 기자회견에서 “특정 국가를 염두에 둔 것은 아니다”고 언급지만, 이번 조치는 지난해 중국의 반도체 생산기업에 첨단반도체 장비 판매를 금지하는 등의 조치를 결정한 미국과 보조를 맞춘 것으로 분석된다.
네덜란드도 상반기께 반도체 장비 수출 규제강화안을 꺼내들 전망이다. 지난 8일 리에 슈라이네마허 네덜란드 대외무역·개발협력부 장관은 의회에 보낸 보고서에서 “기술발전과 지정학적 상황을 고려할 때 특정 반도체 생산 장비에 대한 기존 수출 통제 규정을 확장할 필요가 있다”며 “기술 수출 통제 규정에는 가장 작고 강력한 반도체칩을 만들 수 있는 매우 높은 사양의 시스템이 포함될 것. DUV 노광장비 기술이 담길 것”이라고 명시했다.
10나노 이하 반도체를 만들 때 필요한 극자외선(EUV) 노광장비뿐만 아니라 한 세대 전 모델인 심자외선(DUV) 노광장비까지도 수출을 제한하겠다는 취지다.