주성엔지니어링, 가스 분사 장치 등 특허 2종 취득

  • 등록 2011-01-06 오후 3:17:32

    수정 2011-01-06 오후 3:24:39

[이데일리 유용무 기자] 주성엔지니어링(036930)은 6일 ▲반도체 제조용 가스 분사 장치 ▲혼합형 플라즈마 발생 장치 등에 관한 특허를 취득했다고 공시했다.

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