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SK하이닉스는 지난 2019년 개발한 3세대 HBM2E에 처음으로 MR-MUF 기술을 적용했다. MR-MUF는 칩과 칩 사이에 액체 형태 보호재를 주입해 굳히는 방식의 공정이다. 칩을 하나씩 쌓을 때마다 필름형 소재를 깔아주는 방식과 비교해 대량 생산에 효율적이고 열 방출에도 효과적이다.
이 부사장은 “HBM3 12단 제품부터는 기존보다 칩의 적층을 늘렸기 때문에 방열 성능을 더욱 강화해야 했다”며 “기존 MR-MUF 방식으로는 HBM3 12단 제품의 더 얇아진 칩들이 휘어지는 현상을 다루기 쉽지 않았고 이러한 한계를 극복하기 위해 어드밴스드 MR-MUF 기술을 개발했다”고 설명했다.
SK하이닉스는 어드밴스드 MR-MUF를 통해 지난해 세계 최초 12단 HBM3 개발·양산에 성공했다. 지난 3월에는 HBM3E 양산도 시작했다. SK하이닉스는 하반기 양산할 HBM3E 12단 제품에도 어드밴스드 MR-MUF를 적용한다.
이 부사장은 “MR-MUF가 고단 적층은 구현하기 어렵다는 소문이 있었던 만큼 MR-MUF가 고단 적층에도 최적의 기술이라는 사실을 고객과 소통하는 데에 힘을 쏟았다”며 “그 결과 고객 신뢰를 재확인하는 계기가 되기도 했다”고 강조했다.
차세대 HBM 제품에선 어드밴스드 MR-MUF와 하이브리드 본딩 방식을 모두 검토하고 있다. 하이브리드 본딩은 칩을 수직으로 쌓을 때 칩과 칩 사이 범프 없이 직접 접합시키는 기술이다. 칩 전체 두께가 얇아지기 때문에 고단 적층이 가능하다. 업계에선 16단 이상 HBM 제품부터 하이브리드 본딩이 쓰일 것으로 예상하고 있다.
이 부사장은 “우리 회사가 HBM 시장을 선점할 수 있었던 가장 큰 원동력은 품질과 양산 경쟁력을 갖춘 제품을 고객이 원하는 시기에 제공했기 때문이라고 생각한다”며 “패키징 개발 조직에서도 고객과 이해관계자 니즈를 빠르게 파악해 제품 특성에 반영하고 있다”고 말했다.