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[이데일리 경계영 기자] 올림푸스한국이 반도체와 평판디스플레이(FPD) 결함을 잘 찾아낼 수 있는 산업용 현미경을 새로 내놨다.
올림푸스한국은 24일 관찰 성능을 한층 높인 반도체·FPD 검사용 산업현미경 MX63과 MX63L을 출시한다고 밝혔다.
이번 현미경엔 고광도 LED 광원으로 색 재현율을 높였다. LED 광원은 할로겐 조명과 달리 광도와 관계 없이 색을 정확하게 표현한다는 장점이 있다. 더욱이 소모 전력이 낮고 수명이 길어 유지관리 비용도 절감할 수 있다.
순수 웨이퍼나 유리, 필름 등 무늬가 없는 시료에도 초점을 맞출 수 있도록 포커스 에이드(Focus Aid) 기능도 도입됐다.
전종철 올림푸스한국 사이언스솔루션사업본부장은 “올림푸스의 신기술이 집약된 산업현미경이 다방면에서 활용돼 한국 반도체 산업의 신뢰성과 정확도를 높이는 데 도움이 되길 바란다”고 말했다.