청주 M11 공장은 대지면적 10만8697평방미터에 건축면적 5만5805평방미터 규모로 지난해 4월1일 단지 철거를 시작으로 본격적인 공장건설을 시작해, 올해 2월26일부터는 팹 가동에 있어 핵심이라고 할 수 있는 클린룸을 정상 가동시켰다.
이날은 고밀도 플라즈마(High Density Plasma) 공정에 쓰이는 국산 HDP 장비를 반입하면서 양산을 위한 준비에 들어갔다.
M11 공장은 40나노급 초미세공정을 도입해 수요처가 확대되고 있는 고용량의 낸드플래시 제품을 주력으로 생산하게 된다. 우선 2008년8월까지 월 2만장의 웨이퍼를 본격 양산할 예정이다.
현재까지 M11 공장에 투자된 금액은 건설비 7500억원을 포함해 약 1조1000억원이며, 향후 시장상황에 맞춰 3조2000억원을 추가로 투입할 예정이다.
하이닉스는 주변의 주거환경을 의식해 `도심속 친환경 팹` 운영을 목표로 대기처리장치 등 환경관련 시설을 강화했다.
또 일반인들이 반도체 제조공정 및 팹에 대해 쉽게 이해할 수 있도록 반도체 팹 체험 홍보관을 자체적으로 운영할 예정이다.
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