네덜란드 ASML, 獨칼자이스에 10억유로 투자.."차세대 EUV장비 개발"

[이데일리 김혜미 기자] 네덜란드 노광장비 업체 ASML이 독일 자이스(ZEISS)의 반도체 사업부문인 칼자이스(CARL Zeiss)SMT 지분 24.9%를 10억유로(한화 약 1조2680억원)에 인수한다고 3일 밝혔다.

ASML은 7나노 이하의 미세공정을 가능케 하는 극자외선(EUV) 노광장비 업체로, 시장점유율 80%를 차지할 정도로 독보적인 입지를 구축하고 있다. 삼성전자(005930)와 인텔 등 글로벌 반도체 기업들이 EUV 장비 연구·개발(R&D) 목적으로 투자, 지분을 보유하고 있기도 하다.

ASML은 이번 투자가 오는 2020년 초반 목표로 개발 중인 차세대 EUV 장비 개발을 위한 협력 강화 차원이라고 설명했다. ASML은 지분 인수 외에 별도로 칼자이스SMT의 R&D에 약 2억2000만유로를 투자하고, 다른 분야에도 추가 5억4000만유로를 6년간 투자하게 된다.

칼자이스SMT는 ASML의 핵심 파트너사로 30년 이상 전략적 파트너 관계를 유지해왔다. ASML은 반도체 노광 공정부분에 중요한 반도체 장비사이면서 노광 공정에 필요한 서비스를 제공하고, 칼자이스SMT는 노광 장비의 핵심인 광학 부분을 제공하고 있다. 칼자이스는 앞으로 EUV를 위한 새로운 광학 시스템(optical system)을 개발할 예정이다.

차세대 EUV는 현재의 EUV 시스템이 기반으로 하는 0.33NA(higher numerical aperture; 높은 개구율)보다 높은 0.5NA 이상을 기반으로 하는 반도체 패턴을 구현할 수 있도록 할 예정이다. 이는 다시 말해 경제성이 있는 3나노미터(nm) 로직 공정을 가능케 할 수 있다는 의미다. 삼성전자는 지난 10월 중순 업계 최초로 10나노 공정 반도체 양산을 시작했다.

피터 베닝크 ASML 회장 겸 최고경영자(CEO)는 “2018년에는 현재 기술의 EUV 장비를 통해 고객사들이 반도체를 생산하게 될 것”이라면서 “EUV 장비 양산을 위해 많은 준비가 필요하고, 성공적인 이머전(Immersion) 장비의 지속적인 개선도 함께 이뤄지고 있다. 하지만 ASML와 자이스는 미래에 대한 고려를 하고 있으며 2020년 이후 이번 투자가 빛을 보게 될 것”이라고 말했다.



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