'12월 과학기술자상' 수상자에 이태억 KAIST 교수 선정

[이데일리 오희나 기자] 미래창조과학부와 한국연구재단은 한국과학기술원 이태억 교수(사진)를 이달의 과학기술자상 12월 수상자로 선정했다고 2일 밝혔다.

이 교수는 반도체 웨이퍼 제조공정에 사용되는 클러스터장비의 작업 순서를 최적으로 결정하고 통제할 수 있는 세계 최고 수준의 공정장비 스케줄링 및 제어 기술을 개발한 공로를 인정받았다.

이 교수는 반도체 클러스터장비에 대해서 까다롭고 복잡한 운용 조건을 만족하면서 로봇 작업 순서와 타이밍을 최적화하는 수리적 해법을 마련했다.

클러스터장비는 웨이퍼를 여러 형태의 챔버에 투입하는 순서를 정하고 웨이퍼가 공정 전후에 대기하는 시간을 통제해야 하며, 챔버를 주기적으로 청소하는 등 복잡한 제약을 갖는다.

특히, 공정이 끝난 웨이퍼가 챔버 안에 남아 있어 가스나 열에 의해 변형되거나, 다음 챔버에 투입하기 위해 대기하면서 냉각되는 문제 등을 해결하기 위해 지연시간 제어기술을 개발했다.

지연시간 제어기술은 반도체 미세회로의 선폭이 10나노대로 계속 좁아지면서 반도체 제조공정에 대한 품질관리가 중요하게 부각된 상황에서 웨이퍼 품질의 수율 향상에 기여할 것으로 기대된다.

이 교수는 개발된 수리 이론 및 해법을 다양한 이산사건시스템, 자동화시스템의 스케줄링 및 제어 이론으로 확장하고 일반화해 자동화시스템 스케줄링 기술 발전에 크게 기여했다.

지난 15년간 해당분야 연구를 선도하고 최고 수준의 학술지에 최근 3년간 18편(게재승인 6편 포함)을 게재했으며 반도체 제조업체 및 공정장비 제조업체와 산학협력을 통해 기술을 이전하고 장비 스케줄러를 국산화하는 노력도 진행해 왔다.

미래부는 “최근 개발한 장비 스케줄링 및 제어 기술을 장비에 탑재하고 실용화 노력을 지속해 향후 우리나라의 반도체 제조 및 공정장비 산업의 경쟁력 제고에 크게 기여할 것으로 기대된다”고 밝혔다.

클러스터 장비의 개념도. 4개 기둥은 웨이퍼 표면을 한 장씩 초정밀 화학 처리해 회로를 만드는 공정 챔버(통) 들로 필요에 따라 보통 4~6개를 연결해 다양한 방식으로 배열되며, 가운데는 웨이퍼를 운반 해주는 로봇으로 한 개 또는 두 개의 팔을 가진다. 챔버에 웨이퍼를 넣어주고 화학처리 공정이 끝나면 꺼내어 다음 챔버로 옮겨준다. 미래부 제공