‘수입 의존’ 반도체 세정공정용 나노급 필터 국내생산 개시

[이데일리 김형욱 기자] 전량 수입에 의존하던 반도체 세정공정용 나노(㎚)급 필터가 국내 생산을 시작했다.

이승렬 산업통상자원부 산업정책실장(앞 가운데)이 17일 경기도 화성시 시노펙스 동탄공장에서 이곳 관계자들과 함께 이날 준공한 시노펙스 신규 생산 라인을 둘러보고 있다. (사진=산업부)

17일 산업통상자원부에 따르면 ㈜시노펙스(025320)는 동탄 공장에서 이를 위한 신규 생산라인 준공식을 열었다.

정부와 업계의 핵심 산업 공급망 안정 노력의 성과다. 정부와 업계는 미·중간 첨단산업 경쟁이 촉발한 공급망 불안 확대 속 반도체 등 핵심산업 소재·부품·장비(이하 소부장) 자립화를 추진했고, 시노펙스도 산업부가 진행한 소부장 수요-공급기업 간 협력 모델 사업에 참여해 통해 이 필터 양산 체제를 갖추게 됐다. 산업부는 이를 위해 2020~2023년 4년간 123억원의 연구비를 지원했다.

반도체 세정공정용 나노급 필터는 반도체 선폭 미세화 과정에서 초미세 오염물질을 제거하는 세정공정의 핵심 부품이었으나 지금까진 전량 수입에 의존해 왔다.

이곳은 앞으로 연 1200억원 상당의 나노필터 1만개를 생산 체제를 갖추고 연 8000개에 이르는 삼성전자·SK하이닉스 국내 반도체 공장의 수요를 100% 충당하게 된다.

이날 준공식에는 이승렬 산업부 산업정책실장과 산업부 산하 연구기관인 한국산업기술진흥원(KIAT), 수요-공급기업 관계자가 참여했다. 이 실장은 이 자리에서 반도체 소부장 수요-공긍기업 간담회를 열고 앞으로의 연구개발(R&D) 추진 방향을 논의했다. 정부와 국회는 이달 10일 소부장 기업 지원을 위한 특별회계를 5년 확대 연장하는 소부장 특별법 개정하며 지원사업 중장기 추진 기반을 확보한 상황이다.

이 실장은 “첨단산업 경쟁력 확보와 공급망 강화를 위해선 수요-공급기업 간 협력이 중요하다”며 “정부도 첨단산업 초격차 R&D와 공급망 안정성 확보를 위한 투자를 계속 확대할 것”이라고 말했다.