황의법칙 입증한 `SaDPT` 기술이란?

[이데일리 김상욱기자] 삼성전자(005930)가 30나노 64기가 낸드플래시를 개발, 8년 연속 이른바 `황의법칙`을 실현하면서 적용한 SaDPT(Self-aligned Double Patterning Technology) 기술에 이목이 쏠리고 있다.

삼성전자에 따르면 SaDPT 기술은 지금까지 초미세공정에 사용되던 DPT 기술을 한단계 업그레이드한 것으로 볼 수 있다.

DPT기술이란 설비가 가지고 있는 고유의 한계보다 더욱 미세한 패턴을 실현, 한세대 앞선 공정의 제품을 구현할 수 있도록 한 기술을 말한다.

삼성전자는 이 기술을 `도미노게임`에 비유할 수 있다고 설명하고 있다. 반도체 패턴 형성과정이 마치 도미노를 세울때와 비슷하다는 설명이다.

도미노와 인접 도미노 사이의 간격이 촘촘할 경우 자칫 도미노 1개를 잘못 건드리면 인접한 도미노들이 줄줄이 쓰러지듯 반도체도 패턴과 패턴사이의 간격이 너무 좁을 경우 미세가공상 문제들이 발생한다.

따라서 도미노를 세울 때 1차로 도미노와 도미노 사이의 간격을 여유있게 도미노를 세운 후 그 사이에 다시 2차로 도미노를 세워 나가는 방식을 응용했다는 설명이다.
 

삼성전자의 SaDPT 기술도 넓은 간격의 첫번째 패턴을 우선 형성한 후, 패턴과 패턴사이에 또 다른 패턴을 형성, 패턴간의 간격을 감소시키는 과정을 통해 반도체 장비 기술의 한계를 극복했다.

이와관련 삼성전자는 "패턴간 간격 조정 실패로 인해 회로불량이 발생하기 쉽지만 이를 극복해 냈다"고 강조했다. 이 기술을 적용해 40나노급 포토장비로 30나노급 제품화에 성공했다는 설명이다.

삼성전자는 이번 기술개발을 통해 현재 일시적으로 반도체 집적도 발전속도를 따라오지 못하고 있는 반도체 설비기술간 불균형 해소에도 기여할 것으로 전망했다.

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